坂上和之主幹研究員（工学系研究科）らは、発光時間が極めて短く、エネルギーの弱い「超短パルス軟X線レーザー」に特有の精密な表面加工メカニズムを発見した。高集積回路などの量産化への応用が期待される。成果は11月28日付の英 … 続きを読む 精密な表面加工のメカニズム解明